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臺灣綠色技術相關半導體專利申請

臺灣綠色技術相關半導體專利申請 1

智慧財產制度為鼓勵創新和研發,但隨著高科技的快速發展,全球暖化現象也越來越嚴重。半導體為臺灣重要科技產業,從上、中、下游的IC設計、製造到封裝測試,具有完整的產業鏈,聚集了國內外科技大廠。然而半導體產業除了耗水、耗電,在製程中的洗滌作業使用大量的氣體和化學品,也會產生廢氣和廢液,如未妥善處理,將對環境造成汙染。在聯合國推動淨零減碳下所倡議的全球企業RE100 (Renewal Energy 100) 邁向100%再生能源目標,全球最大晶圓代工廠的臺積電為率先業界加入RE100。在2022年11月成立的全球半導體氣候聯盟(Semiconductor Climate Consortium, SCC),其創始會員就有五家臺灣企業,包含臺積電、日月光、環球晶圓、漢民科技、南亞科技。臺積電秉持著企業淨零及永續經營理念,與相關廠商合作開發半導體節能機臺,並提升資源循環再生利用,以期降低營運成本和氣候風險。

臺灣智慧財產局為提供臺灣半導體企業轉型綠色製造的參考和專利布局,首先利用WIPO國際專利分類的2010年綠色目錄(分成替代能源、廢棄物管理等七大類別)及日本綠色轉型目錄(GXTI),以Reduce (節能、減量)、Reuse (重複使用)、Recycle (回收、循環再利用)、Redesign/Regeneration (再設計/再生) 的4R原則,對於半導體綠色製造/機臺專利案較高相關性的IPC分類號彙整列表如下,作為檢索用參考工具。

項目IPC分類號
適用將輻射能量轉化為電能的設備H01L 27/142, 31/00-31/078、H01G 9/20、H02S 10/100
矽、單晶生長C01B 33/02、C23C 14/14, 16/24、C30B29/06
用於處理水、廢水或汙水C02F 1/16
廢棄物處理B09B、B65F
廢料的回收或加工C08J 11/00-11/28、C09K 11/01、C11B 11/00, 13/00-13/04、C14C 3/32、C21B 3/04、C25C 1/00、D01F 13/00-13/04
從廢料中獲取金屬C22B 7/00-7/04, 19/30, 25/06
處理廢水或汙水B63J 4/00、C02F

其次智慧局將研討對象以臺積電的供應鏈廠商和研發機構為主體,也與相關企業進行訪談以實際了解半導體產業界在綠色製造的現況。當中智慧局特別選出具代表性的十大半導體設備及原物料供應商,包括應用材料、漢民科技、信紘科技、光洋應用材料科技、環球晶圓、信越集團、艾司摩爾、東京威力科創、工研院、佳能。對於半導體技術領域於2016至2022年的公告/公開案件,智慧局從數千筆專利資料進行檢索、分析和歸納列出116件半導體綠色製造/機臺相關技術的專利案,內容涵蓋化學機械研磨(CMP)、晶圓針測和檢測、氣相成膜裝置、廢液萃取回收、化學液體稀釋、再生濺鍍靶材、矽晶爐(CZ Method) EUV微影設備等等領域,作為半導體企業轉型綠色製造的參考案例。

此外,由於高科技的快速發展和企業競爭研發,對於半導體綠色技術發明專利之申請,申請人如欲儘早取得臺灣專利保護,可利用臺灣發明專利加速審查作業方案(Accelerated Examination Program,簡稱 AEP)之事由4,檢附相關證明或說明文件,向智慧局申請加速審查,文件齊備後的六個月內即可收到審查結果。依智慧局AEP統計資料,2014年至2022年9月的AEP事由4申請案共223件,其中155件核準、68件核駁,核準率近七成。

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臺灣綠色技術相關半導體專利申請